深紫外固态激光器
8台深紫外固态激光源装备有什么用
陈创天：这一光源已经发现了很多重要的应用，并已经有了成功的范例。
1） 真空紫外激光超高能量分辨率光电子能谱仪：借助这台激光光电子能谱仪的超高分辨率，我们能够更仔细地了解固体的特性，这将大大促进人们对固体材料中各种奇异电子特性的了解。
2）推动193nm光刻技术的发展：193nm光刻技术是目前大规模集成电路制造业中的主流技术，在这一技术中，要求有两种光源：一种是照明光源，一种是高精度母版制作所需的相干光源。目前由于没有适合的全固态激光光源，因此多数使用电子束光刻技术，但效率低，成本高。如果能够获得100mW的193nm的全固态窄带宽相干光源，将有可能取代电子束用于集成电路母版制作。
3）化学动力学研究：深紫外全固态激光源由于每个光子能量高，线宽窄，从而将在分子的激发光分解、自由基反应，超激发态分子等方面开拓新的研究领域。这一光源比现有的同步辐射、原子灯深紫外光源在能量分辨率、光子流密度、偏振特性等方面有很大的优越性。
4）光电子发射显微镜:使用177．3nm的激光源，通过激发固态表面电子并使用磁场对电子路径的控制，并通过光电倍增管成像，将大大提高表面成像的分辨率和对各种图像的物理、化学内涵解释。
以上只是目前能够预见的几个重要应用实例，我们相信，随着全固态深紫外激光光源的发展和技术的成熟，将会有越来越多的应用被发现，从而使这一光源在科学研究和高技术领域发挥越来越大的作用。
深紫外固态激光源的定义
深紫外全固态激光源指输出波长在200纳米以下的固体激光器，与同步辐射和气体放电光源等现有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。 自上世纪90年代初开始研究深紫外非线性光学晶体和激光技术，经过20多年努力，在国际上首次生长出可直接倍频产生深紫外激光非线性光学晶体，并发明棱镜耦合技术，率先发展出实用化的深紫外固态激光源，使中国成为当今世界上唯一掌握深紫外全固态激光技术的国家。